6인치 N형 또는 P형 실리콘 웨이퍼 CZ Si 웨이퍼
웨이퍼 박스 소개
실리콘 웨이퍼의 사양:
6인치 실리콘 웨이퍼 성장: CZ, MCZ, FZ。
6 실리콘 웨이퍼 등급: Prime, Test, Dummy 등
6인치 실리콘 웨이퍼 직경: 6인치/150mm。
6인치 실리콘 웨이퍼 두께: 200~ 3000um。
6인치 실리콘 웨이퍼 마감: 절단, 랩핑, 에칭, SSP, DSP 등
6인치 실리콘 웨이퍼 방향 : (100) (111) (110) (531)(553) 등。
6인치 실리콘 웨이퍼 오프 컷: 최대 4도。
6인치 실리콘 웨이퍼 유형/도펀트: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsic。
6인치 실리콘 웨이퍼 저항률: CZ/MCZ: 0.001~1000Ω-cm. FZ: 최대 20kΩ-cm.
6인치 실리콘 웨이퍼 박막: (a)PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni, Fe, Mo 등, 코팅 두께는 최대 20,000A/5%입니다.
(b)LPCVD/PECVD: 산화물, 질화물, siC 등, 코팅 두께 최대 200.000A/3%.
(c)실리콘 에피택셜 웨이퍼 및 에피택셜 서비스(SOS, GaN, GOI 등).
6인치 실리콘 웨이퍼 공정: a.DSP, 초박형, 초평평형 등.
b. 다운사이징, 백그라인딩, 다이싱 등 c. MEMS.
상하이 XKH Material Tech. Co.,Ltd는 2010년부터 고객에게 포괄적인 4인치 웨이퍼 실리콘 웨이퍼 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔습니다.디버깅 레벨 웨이퍼 더미 웨이퍼, 테스트 레벨 웨이퍼 테스트 웨이퍼, 제품 레벨 웨이퍼 프라임 웨이퍼는 물론 특수 웨이퍼, 산화물 웨이퍼 산화물, 질화물 웨이퍼 Si3N4, 알루미늄 도금 웨이퍼, 구리 도금 실리콘 웨이퍼, SOI 웨이퍼, MEMS 유리, 맞춤형 초두께 및 초평탄 웨이퍼 등 크기가 50mm~300mm에 이르며, 반도체 웨이퍼에 단면/양면 연마, 박막화, 다이싱, MEMS 및 기타 가공 및 맞춤 서비스를 제공할 수 있습니다.
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