6인치 N형 또는 P형 실리콘 웨이퍼 CZ Si 웨이퍼
웨이퍼박스 소개
실리콘 웨이퍼의 사양:
6인치 실리콘 웨이퍼 성장: CZ, MCZ, FZ。
6 실리콘 웨이퍼 등급: Prime, Test, Dummy 등
6인치 실리콘 웨이퍼 직경: 6인치/150mm。
6인치 실리콘 웨이퍼 두께: 200~ 3000um。
6인치 실리콘 웨이퍼 마감: 절단, 랩핑, 에칭, SSP, DSP 등.
6인치 실리콘 웨이퍼 방향: (100) (111) (110) (531)(553) 등.
6인치 실리콘 웨이퍼 오프 컷: 최대 4도。
6인치 실리콘 웨이퍼 유형/도펀트: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsic.
6인치 실리콘 웨이퍼 저항률: CZ/MCZ: 0.001~1000ohm-cm. FZ: 최대 20k ohm-cm.
6인치 실리콘 웨이퍼 박막: (a)PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. 등, 코팅 두께 최대 20.000A/5%.
(b)LPCVD/PECVD: 산화물, 질화물, SiC 등, 코팅 두께는 최대 200.000A/3%입니다.
(c) 실리콘 에피택셜 웨이퍼 및 에피택셜 서비스(SOS, GaN, GOI 등).
6인치 실리콘 웨이퍼 공정 : DSP, Ultra Thin, Ultra Flat 등
b.소형화, 백그라인딩, 다이싱 등。c. MEMS.
2010년부터 상하이 XKH Material Tech. (주)디버깅레벨 웨이퍼 Dummy Wafer, 테스트레벨 웨이퍼 Test Wafer, 제품레벨 웨이퍼 Prime Wafer, 특수웨이퍼, Oxide Wafer Oxide, 질화물 웨이퍼 Si3N4, 알루미늄 도금 웨이퍼, 구리 도금 실리콘 웨이퍼, SOI 웨이퍼, MEMS Glass, 맞춤형 초박형 및 초평탄 웨이퍼 등 50mm-300mm이며, 단면/양면 연마, 박형화, 다이싱, MEMS 및 기타 가공 및 맞춤 서비스를 갖춘 반도체 웨이퍼를 제공할 수 있습니다.