12인치 사파이어 웨이퍼 C-플레인 SSP/DSP

12인치 사파이어 웨이퍼 생산은 복잡하고 전문적인 공정입니다. 12인치 사파이어 웨이퍼 생산의 주요 단계는 다음과 같습니다.

종자 결정 준비: 첫 번째 단계는 단결정 사파이어를 성장시키는 템플릿 역할을 하는 종자 결정을 준비하는 것입니다. 종자 결정은 적절한 정렬과 표면 매끄러움을 보장하기 위해 신중하게 성형하고 연마합니다.

산화알루미늄 용융: 고순도 산화알루미늄(Al2O3)을 도가니에서 용융합니다. 도가니는 일반적으로 고온을 견딜 수 있는 백금이나 기타 불활성 물질로 만들어집니다.

결정 성장: 용융된 산화알루미늄에 준비된 시드 결정을 시딩하고, 제어된 분위기를 유지하면서 천천히 냉각합니다. 이 공정을 통해 사파이어 결정이 층층이 성장하여 단결정 잉곳을 형성합니다.

잉곳 성형: 결정이 원하는 크기로 성장하면 도가니에서 꺼내 원통형 볼(boule) 모양으로 성형합니다. 그런 다음 볼을 조심스럽게 얇게 썰어 얇은 웨이퍼를 만듭니다.

웨이퍼 가공: 슬라이스된 웨이퍼는 원하는 두께, 표면 마감, 그리고 품질을 얻기 위해 다양한 공정을 거칩니다. 여기에는 표면 결함을 제거하고 필요한 평탄도와 매끄러움을 얻기 위한 래핑, 연마, 그리고 화학 기계적 평탄화(CMP)가 포함됩니다.

세척 및 검사: 처리된 웨이퍼는 오염 물질을 제거하기 위해 철저한 세척 과정을 거칩니다. 그런 다음 균열, 긁힘, 불순물과 같은 결함이 있는지 검사합니다.

포장 및 배송: 마지막으로, 검사된 웨이퍼는 포장되어 고객에게 배송될 준비를 합니다. 일반적으로 운송 중 보호를 제공하는 웨이퍼 캐리어에 담겨 배송됩니다.

12인치 사파이어 웨이퍼 생산에는 소형 웨이퍼에 비해 특수 장비와 시설이 필요할 수 있다는 점에 유의해야 합니다. 또한, 대형 웨이퍼의 무결성과 품질을 보장하기 위해 엣지 배제(edge ​​exclusion) 및 응력 관리와 같은 첨단 기술이 적용될 수 있습니다.

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